特點及應用
1、高集成設計，控制與設備主體集成在一起，整體尺寸小于1米×0.9米×2米（長寬高），操作系統在工控機或觸摸屏界面完成，控制軟件中植入各種誤操作互鎖程序，避免人員誤操作。
2、恢復工作真空快，大氣至5.0X10-E4Pa小于15分鐘（充惰性氣體，從手套箱內操作）。
3、本產品屬于科研類設備，可實現多種金屬材料的蒸鍍。目前主要應用于鈣鈦礦材料，光伏太陽能電池的器件制備等。
