產品定位
中試線
適用范圍
OLED材料量產前驗證、微顯示器件的生產等。
核心技術
真空密封技術、高精密對位技術、膜厚及真空壓力精確控制技術。
產品特色
一體化程度高，適配性強，采用團簇式結構，可對接多種功能的設備。
智能性強，操作系統植入誤操作互鎖程序，可避免操作失誤。
效率高，采用較大容積的坩堝和雙探頭設計，避免了經常性的開腔添加材料和更換晶振片。
可實現自動取放基片以及更換mask。
一體化程度高，適配性強，采用團簇式結構，可對接多種功能的設備。 智能性強，操作系統植入誤操作互鎖程序，可避免操作失誤。 效率高，采用較大容積的坩堝和雙探頭設計，避免了經常性的開腔添加材料和更換晶振片。 可實現自動取放基片以及更換mask。
