產品參數
整機尺寸 ≤1.2（L)×0.9（W)×2（H)（單位：M）
極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a
膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95%
基片尺寸 ≤40×40mm 數量4片
有12個mask位置 每個基片對應3個位置
適用范圍
OLED材料驗證、光電器件結構優化等。
產品特色
高集成設計，整體尺寸小，操作系統在工控機或觸摸屏界面完成。
恢復工作真空快，大氣至5.0x10-4Pa≤15分鐘。
有16組蒸發源，可4源共蒸，真空環境可更換2次mask。
高集成設計，整體尺寸小，操作系統在工控機或觸摸屏界面完成。 恢復工作真空快，大氣至5.0x10-4Pa≤15分鐘。 有16組蒸發源，可4源共蒸，真空環境可更換2次mask。
