產品參數
整機尺寸 ≤1.2（L)×0.9（W)×2（H)（單位：M）
極限真空 ≤2×10 -5Pa 保壓12小時 壓強≤5P a
膜厚均勻性 ≥95% 重復性 ≥95% 速率穩定性≥95%
基片尺寸 ≤40×40mm 數量6片
≤50×50mm 數量4片
有12個mask位置 每個基片對應3個位置
適用范圍
OLED材料驗證、光電器件結構優化等。
產品特色
膜厚均勻性高，重復性強，速率穩定性高。
有16組蒸發源，可做到4源共蒸。
蒸鍍器件效率高，壽命長，可滿足頂發射器件制備要求。
占地面積小，使用成本低，維護成本低，性價比高。
